上海茂索超净技术有限公司

上海茂竺（上海茂索）以进出口贸易为主、高端技术支持服务相辅并进的快速发展模式。为半导体、医药及生物芯片等行业提供厂务所必需的材料部件（隔膜阀、EP（BA）管道等）以及特殊气体设备[例如特气柜(GAS?CABINET)?、阀门箱（VMB）]，化学品供应系统（例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING?BOX）。上海茂竺（上海茂索）信奉以客户为中心的服务理念，提供设备安装及二次配管等一系列高纯系统的整体解决方案，具体内容覆盖了从方案设计到安装、测试等方面。茂索公司通过控制项目的重复设计和建设，达到花费项目资金和周期的小化。上海茂竺（上海茂索）主要服务于以下行业：高亮度发光二极管外延HB-LED：?主要工艺设备?MOCVD（AIXTRON,Thomas?Swan，VECCO）有机发光二极管OLED:?PECVD,?溅射台，蒸发台OLED台，OTFT台，?太阳能电池：主要工艺设备?PECVD??硅外延：外延炉?微机电系统MEMS：主要工艺设备RIE，LPCVD，ICP，等离子清洗机，溅射机等医药及生物芯片：?平面及等离子显示器：?化工：其他材料薄膜研究：主要工艺设备APCVD，LPCVD，MBE?，HVPE.????????特气设备及洁净部件（特气钢瓶柜、阀门箱）主要用于控制超高纯特殊气体，电子特气包括氢气H2、氮气N2、氧气O2、?氩气Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨气NH3、三氯一氢硅烷TCS、?CL2、气体HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、二氯二氢硅烷DCS等等多种气体或液化气体。